陶瓷靶材使用注意事項

        蒂姆（北京）新材料科技有限公司（以下簡稱“蒂姆新材料”）采用高純化合物粉末為原料，通過常壓燒結法、真空熱壓法以及熱等靜壓法等工藝成型，經過精密機械加工而成，靶材晶粒度小、純度高、致密度高。

        陶瓷類靶材本身質脆且導熱性差。建議綁定銅背靶！背靶材料是具有良好的導電性和導熱性的無氧銅，一般選擇2-3mm厚度，采用金屬銦進行焊接綁定。

        使用注意事項：

1、靶材清潔：清洗建議用“無絨布”進行清潔，再用高壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統中會造成起弧的雜質微粒。

2、靶材安裝：一定要確保在靶材和濺射槍冷卻壁之間建立很好的導熱連接。如果冷卻壁的翹曲程度嚴重會造成靶材安裝時發生開裂或彎曲，背靶到靶材的導熱性能就會受到很大的影響，導致在濺射過程中熱量無法散發最終會造成靶材開裂或脫靶。

3、靶材預濺射：

A：靶材應該經歷一個（功率）緩慢增加的過程，陶瓷靶材的功率逐漸加大。在進行預濺射的同時檢查靶材起輝情況，如沒有起輝現象，繼續提升濺射功率到設定功率。

B:沉積之后，功率應同樣的緩慢下降，使靶材緩慢冷卻。突然切斷電源和冷卻水會導致靶材在溫度驟變中開裂。

C:另注意確保冷卻水的循環系統能有效工作，通過冷卻水的快速循環帶走熱量，確保冷卻水出口的水溫低于35攝氏度，

D: 連續濺射時間不宜太長，且使用后的靶材務必真空干燥儲存，防止靶材潮解粉化、影響正常使用。

因操作不當造成的靶材碎裂，責任自負。

蒂姆（北京）新材料科技有限公司   專業鍍膜材料供應商，您鍍膜的選擇

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