晶振片一般用5Mhz,6Mhz兩種標定頻率, 金、銀(用于高熱負荷過程)和減壓合金(用于電介質材料和半導體過程的光學涂膜)。
一、晶振片介紹
晶振片的電極對膜厚監控至關重要,目前市場上提供三種標準電極材料:金、銀和合金。用戶所鍍的材料不同,需選用不同的電極材料產品。
金:是最廣泛使用的傳統材料,它具有低接觸電阻,高化學溫定性,易于沉積。適合于鍍低應力膜料,如鍍Al、Au、Ag、Cu等。
銀:適合于鍍高應力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。
銀鋁合金:適合于鍍介質光學膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。
為了提高晶振片的穩定性,增加電極膜與石英晶片的附著強度,我司根據經驗總結在鍍電極材料之前,先鍍一層鎘(Cr)效果更好。在使用性能不變的情況下金銀合金電極膜比金電極膜使用壽命更長。
二、Maxtek晶振片型號參考
晶振片用的比較多的品牌是美國進口的inficon, maxtek和fil-tech晶振片,常規規格、型號表格如下:
Maxtek Crystals |
零件號 | 說明 |
0.550 in. (14 mm) Diameter | 與大部分傳感器(INFICON、Maxtek、Sigma、Sycon 等)兼容 |
103200-2 | SC-101 6 MHz 晶體,金,每盒 5 顆 |
103204 | SC-150 5 MHz 晶體,金,每盒 5 顆 |
103220 | SC-101 6 MHz 晶體,金,每盤 10 顆 |
103221 | SC-102 6MHz 晶體,銀,每盤 10 顆 |
103240 | SC-105 6 MHz 晶體,合金,每盤 10 顆 |
103222 | SC-150 5 MHz 晶體,金,每盤 10 顆 |
103223 | SC-151 5 MHz 晶體,銀,每盤 10 顆 |
0.550 in. (14mm) Dia - Balzers | 與 Balzers 傳感器兼容 |
103207 | SC-153,5 MHz,銀,Balzers 式,每盒 5 顆 |
103224 | SC-152 5 MHz 晶體,金,Balzers 式,每盤 10 顆 |
0.490 in. (12.5 mm) Diameter | 與 Ulvac 和 Sloan 傳感器兼容 |
186201 | SC-161 5 MHz 0.490 in. 晶體,金,每盤 10 顆 |
186200 | SC-160 5 MHz 0.490 in. 晶體,銀,每盤 10 顆 |
三、產品詳情及價格:
貨號 | 產品名稱 | 規格 | 包裝 | 單價 | 交貨期 | 備注 |
Au-103702 | Maxtek 晶振片 | 103702 6Mhz 金 黑盒 | 1盒 | 咨詢客服 | 3-5個工作日 |
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Au-103702 | Maxtek 晶振片 | 103702 6Mhz 金 黑盒 | 10盒 | 咨詢客服 | 3-5個工作日 | |
Au-103264 | Maxtek 晶振片 | 103264 6Mhz 金,白盒(新批號) | 1盒 | 咨詢客服 | 3-5個工作日 | |
Au-103264 | Maxtek 晶振片 | 103264 6Mhz 金,白盒(新批號) | 5盒 | 咨詢客服 | 3-5個工作日 | |
Au-103264 | Maxtek 晶振片 | 103264 6Mhz 金,白盒(新批號) | 10盒 | 咨詢客服 | 3-5個工作日 | |
備注:以上均為含稅含運費價格,13%增值稅發票,發票隨貨寄。 更多規格、更多型號產品,可咨詢客服電話 010-56073481;QQ2380702353。 |
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