晶振片一般用5Mhz,6Mhz兩種標定頻率, 金、銀(用于高熱負荷過程)和減壓合金(用于電介質材料和半導體過程的光學涂膜)。
晶振片的電極對膜厚監控至關重要,目前市場上提供三種標準電極材料:金、銀和合金。用戶所鍍的材料不同,需選用不同的電極材料產品。
金:是最廣泛使用的傳統材料,它具有低接觸電阻,高化學溫定性,易于沉積。適合于鍍低應力膜料,如鍍Al、Au、Ag、Cu等。
銀:適合于鍍高應力膜料,如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼等。
銀鋁合金:適合于鍍介質光學膜,MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。
為了提高晶振片的穩定性,增加電極膜與石英晶片的附著強度,我司根據經驗總結在鍍電極材料之前,先鍍一層鎘(Cr)效果更好。在使用性能不變的情況下金銀合金電極膜比金電極膜使用壽命更長。
晶振片用的比較多的品牌是美國進口的inficon, maxtek和fil-tech晶振片,常規規格、型號表格如下:
INFICON Crystals |
零件號 | 說明 |
6 MHz INFICON Crystals | 直徑 0.550 in. (14 mm),每包 10 顆晶體 |
008-010-G10 | 6 MHz 金,潔凈室兼容包裝 |
008-009-G10 | 6 MHz 銀,潔凈室兼容包裝 |
750-679-G1 | 6 MHz 合金,潔凈室兼容包裝 |
750-1000-G10 | 6 MHz 金,平板圓盤包裝 |
750-1001-G10 | 6 MHz 銀,平板圓盤包裝 |
750-1002-G10 | 6 MHz 合金,平板圓盤包裝 |
SPC-1093-G10 | 6 MHz 金,緊湊型包裝 |
750-1014-G10 | 6 MHz 銀,緊湊型包裝 |
750-1015-G10 | 6 MHz 合金,緊湊型包裝 |
SPC-1157-G10 | 6 MHz 金,熱震,潔凈室兼容包裝 |
SPC-1194-G10 | 6 MHz 金,熱震,平板圓盤包裝 |
5 MHz INFICON Crystals | 直徑 0.550 in. (14 mm),每包 10 顆晶體 |
750-225-G2 | 5 MHz 金,潔凈室兼容包裝 |
750-226-G2 | 5 MHz 銀,潔凈室兼容包裝 |
750-678-G1 | 5 MHz 合金,潔凈室兼容包裝 |
750-1005-G10 | 5 MHz 金,平板圓盤包裝 |
常規產品信息:
貨號 | 產品名稱 | 規格 | 包裝 | 單價 | 交貨期 | 備注 |
Au-008-010-G10 | Inficon 晶振片 | 008-010-G10 6Mhz 金 | 盒 | 1 | 3-5個工作日 |
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Au-008-010-G10 | Inficon 晶振片 | 008-010-G10 6Mhz 金 | 盒 | 5 | 3-5個工作日 |
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Au-008-010-G10 | Inficon 晶振片 | 008-010-G10 6Mhz 金 | 盒 | 10 | 3-5個工作日 |
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Au-750-1050-G10 | Inficon 晶振片 | 750-1050-G10 5Mhz 雙面鍍金 | 盒 | 1 | 3-5個工作日 |
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Au-750-1050-G10 | Inficon 晶振片 | 750-1050-G10 5Mhz 雙面鍍金 | 盒 | 5 | 3-5個工作日 |
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Au-750-1050-G10 | Inficon 晶振片 | 750-1050-G10 5Mhz 雙面鍍金 | 盒 | 10 | 3-5個工作日 |
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